Информация об авторе
Шибалова, А. А.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 60, № 1 (2024) | Статьи | Влияние высокотемпературного отжига в кислороде на свойства пленок оксида гафния, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 60, № 1 (2024) | Статьи | Влияние высокотемпературного отжига в кислороде на свойства пленок оксида гафния, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения |