Информация об авторе
Chagin, M. N.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 58, № 6 (2024) | ПЛАЗМОХИМИЯ | Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 58, № 6 (2024) | ПЛАЗМОХИМИЯ | Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда |