Информация об авторе
Глаз, О. Г.
Выпуск | Раздел | Название | Файл |
Том 53, № 1 (2024) | ТЕХНОЛОГИИ | Материалы для межсоединений интегральных схем с проектными нормами менее 5 нм | |
Том 54, № 2 (2025) | НАНОСТРУКТУРЫ | Электрические характеристики рутениевых дорожек с площадью поперечного сечения менее 1000 нм2 |