Информация об авторе
Сидоров, Ф. А.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 2 (2023) | ЛИТОГРАФИЯ | Сечения процессов рассеяния при электронно-лучевой литографии | |
| Том 54, № 1 (2025) | МОДЕЛИРОВАНИЕ | Расчет распределений энергии электронного пучка, поглощенной в ПММА и Si, с использованием различных моделей рассеяния |