Информация об авторе
Simakin, S. G.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 4 (2023) | ТЕХНОЛОГИИ | Механизмы перераспределения углеродных загрязнений в пленках, сформированных методом атомно-слоевого осаждения |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 4 (2023) | ТЕХНОЛОГИИ | Механизмы перераспределения углеродных загрязнений в пленках, сформированных методом атомно-слоевого осаждения |