Информация об авторе
Щербакова, О. О.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| № 1 (2025) | Статьи | Влияние режимов травления на топографию поверхности кремниевых пластин и их адгезионные свойства |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| № 1 (2025) | Статьи | Влияние режимов травления на топографию поверхности кремниевых пластин и их адгезионные свойства |