Информация об авторе
Шаранов, П. Ю.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| № 11 (2024) | Статьи | Окисление и травление тонких пленок рутения в кислородной плазме при низкой энергии ионов |
Способы оплаты
Пользователь
Уведомления
Подписка
Войти в систему, чтобы проверить подписку
Ключевые слова
атомно-силовая микроскопия
ионная имплантация
компьютерное моделирование
кремний
магнетронное распыление
метод Монте-Карло
микроструктура
морфология поверхности
наночастицы
облучение
оксид цинка
поверхность
растровая электронная микроскопия
рентгеновская дифракция
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
рентгеноструктурный анализ
рентгенофазовый анализ
синхротронное излучение
структура
тонкие пленки
фазовый состав
Информация
×
Способы оплаты
Пользователь
Уведомления
Подписка
Войти в систему, чтобы проверить подписку
Ключевые слова
атомно-силовая микроскопия
ионная имплантация
компьютерное моделирование
кремний
магнетронное распыление
метод Монте-Карло
микроструктура
морфология поверхности
наночастицы
облучение
оксид цинка
поверхность
растровая электронная микроскопия
рентгеновская дифракция
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
рентгеноструктурный анализ
рентгенофазовый анализ
синхротронное излучение
структура
тонкие пленки
фазовый состав
Информация