Информация об авторе
Morozov, O. V.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| № 11 (2024) | Статьи | Управление эрозией маски и коррекция профиля структур в адаптированном процессе глубокого реактивного ионного травления кремния |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| № 11 (2024) | Статьи | Управление эрозией маски и коррекция профиля структур в адаптированном процессе глубокого реактивного ионного травления кремния |