Информация об авторе
Лопаев, Д. В.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 54, № 3 (2025) | ТЕХНОЛОГИИ | Наноструктурированное травление рутения в трехкомпонентной плазме Сl2/O2/Ar |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 54, № 3 (2025) | ТЕХНОЛОГИИ | Наноструктурированное травление рутения в трехкомпонентной плазме Сl2/O2/Ar |