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Nº 11 (2024)
Control of Mask Erosion and Correction of Structure Profile in an Adapted Process of Deep Reactive Ion Etching of Silicon
Morozov O.
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(Rus)
Nº 12 (2023)
Study of the Influence of Ion-Beam Etching on the Surface Roughness of Single-Crystal Sapphire
Mikhailenko M., Pestov A., Zorina M., Chernyshev A., Chkhalo N., Shevchuk I.
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(Rus)
Nº 11 (2024)
Self-Forming Silicon Nitride Nanomask and Its Applications
Smirnov V., Kibalov D., Lepshin P., Zhuravlev I., Smirnova G.
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(Rus)
Nº 12 (2023)
The Potential of Liquid Glass Using for Smoothing the Surface of Optical Elements
Mikhaylenko М., Zorina М., Petrova D., Pestov А., Strulya I., Chkhalo N.
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(Rus)
Nº 3 (2023)
Influence of Implantation of Ions Ba+ on the Composition and Electronic Structure of Silicate Glasses
Tashmukhamedova D., Urokov A., Abdurakhmanov G., Umirzakov B.
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(Rus)
Nº 10 (2024)
Structural, optical and magnetic properties of iron-garnet films after ionic etching
Tomilin S., Syrov А., Mikhailova Т., Lyashko S., Shaposhnikov А., Shumilov А., Semuk Е., Fedorenko А., Berzhansky V., Tomilina О.
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(Rus)
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